Fluoroformo

El fluoroformo es el compuesto químico con la fórmula CHF₃. Es uno de los "haloformos", una clase de compuestos con la fórmula CHX₃ (X = halógeno). El fluoroformo es utilizado en diversas aplicaciones y es producido como un subproducto de la manufactura de Teflón. Es generado también biológicamente en pequeñas cantidades aparentemente mediante la descarboxilación de ácido trifluoroacético.

El CHF₃ es utilizado en la industria de semiconductores en grabado con plasma de óxido de silicio y nitruro de silicio. Conocido como R-23 o HFC-23, es también un útil refrigerante, a veces considerado como un reemplazo para el clorotrifluorometano (cfc-13) y es un subproducto de su fabricación.